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PECVD系統

智能型簡易版回轉型

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BTF-1200C-S-PECVD微型PECVD系統

更新時間：2026-03-16

型號：BTF-1200C-S-PECVD

瀏覽量：5166

微型PECVD系統本設備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用，同時該設備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。
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智能型三溫區PECVD

更新時間：2025-09-05

型號：

瀏覽量：4166

智能型三溫區PECVD產品簡介：本設備主要針對實驗和中試石墨烯生長和制備使用，同時該設備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。
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等離子輝光滑軌PECVD系統

更新時間：2025-09-04

型號：

瀏覽量：2312

等離子輝光滑軌PECVD系統 1.爐內溫度場的均勻分布 2.可自行根據不同溫度曲線 3.電氣元件采用優質的進口產品高性能、免維護
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BTF-1200C-SSL-PECVD雙爐PECVD

更新時間：2025-09-04

型號：BTF-1200C-SSL-PECVD

瀏覽量：2360

雙爐PECVD（等離子化學氣相沉積系統）系統，有多路質量流量計系統（進口流量計），真空機組（進口真空泵），PE射頻電源（進口射頻源），溫控系統等裝置構成。使用PE源將氣源等離子化，有利于降低工藝溫度，同時擴大工藝的使用條件，滿足更多的工藝實驗要求，如石墨烯、碳納米管等，控制操作系統集成于觸摸屏操作面板上，便于操作與觀察。
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PECVD-III-500A-D210智能型PECVD系統

更新時間：2025-09-05

型號：PECVD-III-500A-D210

瀏覽量：749

PECVD-III-500A-D210是一款智能型PECVD系統。該設備主要分為四大部分：多溫區管式爐、射頻組件、氣路系統、及自動化控制軟件集成系統。
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BTF-1200C-R-PECVD臺面式等離子體增強真空回轉爐

更新時間：2025-09-05

型號：BTF-1200C-R-PECVD

瀏覽量：837

臺面式等離子體增強真空回轉爐BTF-1200C-R-PECVD，該設備是全自動Plasma增強PECVD系統，連續可控溫度以及Plasma強度等，配備真空系統，可以低壓條件下進行實驗，PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光相對均勻等效，有效的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，該設備爐管可360°旋轉，有助于粉料的燒結更均勻。
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PECVD-500A-D智能型PECVD系統（含壓力控制系統）

更新時間：2025-09-05

型號：PECVD-500A-D

瀏覽量：2616

智能PECVD設備是目前最新型的一款設備，將所有的控制部分集為一體，此款設備是我司于2013年研發成功的，可配備PE射頻電源，將CVD系統升級為PECVD。當參與反應的氣氛進入爐管在射頻電源的作用下產生離子體，可使反應更加充分。同時等離子體起增強的作用，從而很大程度上優化實驗的工藝條件。
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BTF-1200C-R-PECVD等離子體增強回轉PECVD系統

更新時間：2025-09-05

型號：BTF-1200C-R-PECVD

瀏覽量：2558

等離子體增強回轉PECVD系統主要特點我司研制的回轉PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。
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